刘丁教授团队全力攻坚国家重大仪器项目
时值严冬,年关将近,西安理工大学晶体生长设备及系统集成工程研究中心却是一派热火朝天的景象。实验大厅里,设备运转声与师生讨论声交织,围绕国家重大科研项目的工程实验正在紧张进行。在这片忙碌中,自动化与信息工程学院的刘丁教授正如往常一样,带领着他的硅单晶生长装备与工艺研发团队,奋战在科研一线,以“分秒必争”的姿态,全力推进半导体硅单晶生长数字孪生与品质管控系统的研究攻关。

“全球半导体产业竞争日趋加剧,突破技术瓶颈,实现自主可控时不我待。”刘丁教授的话语铿锵有力,道出了团队肩上的重任与紧迫感。作为我国在该领域研究最为系统、深入的团队之一,这支被誉为“黄埔军校”的队伍,二十余年来始终瞄准国家重大需求,深耕大尺寸半导体硅单晶生长技术与核心装备的自主研发。从单晶炉智能化控制到无缺陷生长工艺,从故障预测到品质管控,他们在前沿方向持续突破,取得了一系列从关键技术到产业化应用的重大成果。
2025年度,团队围绕晶体品质提升的目标,对自主研制的硅单晶生长物理平台进行了优化升级,完善了关键变量检测与控制软件,并增设辅助系统以提升运行安全性。在此基础上,团队进一步构建了涵盖工艺参数调控、生长过程可视化、故障诊断与品质管控等功能模块,完成了系统的实验验证与应用评估,在本领域核心学术期刊发表代表性成果20余篇。与此同时,团队并未止步于现有成果,正积极谋划并筹备新一轮国家级重大项目的申报工作,着眼于更前沿的技术挑战与产业需求,致力于持续为我国半导体产业核心竞争力的提升储备关键技术力量。

从实验室的基础研究,到生产线的产业化应用,刘丁教授带领团队走的是一条充满挑战却意义非凡的自主创新之路。他们用实际行动诠释着“专注、勤奋、持之以恒”的团队精神,在攻克半导体关键材料与装备“卡脖子”难题的征程中,留下了坚实的足迹。这个寒假,他们的坚守与奋战,不仅是为了既定项目的完美收官,更是为了在新的春天,播下更多支撑科技自立自强的种子,为我国半导体产业的健康发展与竞争力提升,持续贡献着西安理工大学的智慧与力量。